Sie spezifizieren Filter für eine Reinraum-Linie. Vielleicht in einer 300mm-Wafer-Fab, vielleicht in einer aseptischen Pharma-Linie, vielleicht in einer Compound-Semi-Anlage. Die EN-1822-Klassen sehen aus wie eine Zahlenreihe von H13 bis U17 - sind aber nicht beliebig austauschbar.
Dieser Beitrag ist für Engineering-Manager und Facility-Verantwortliche, die HEPA/ULPA-Auswahl praktisch treffen müssen, ohne immer wieder den Filterhersteller-Vertrieb anrufen zu wollen.
Was die Klassen sagen
EN 1822 (gleichlautend ISO 29463) klassifiziert nach Abscheidegrad bei der MPPS:
| Klasse | Min. Integralabscheidegrad | Min. lokaler Abscheidegrad | Typische Anwendung |
|---|---|---|---|
| H13 | 99,95 % | nicht spezifiziert | Industrielle Reinräume ISO 7-8 |
| H14 | 99,995 % | 99,975 % | GMP Grade A (Pflicht seit Annex 1 2023), ISO 5-6 |
| U15 | 99,9995 % | 99,9975 % | Halbleiter-Lithografie, ISO 3-4 |
| U16 | 99,99995 % | 99,99975 % | Photolithografie, Mini-Environments, ISO 1-3 |
| U17 | 99,999995 % | 99,9999 % | Extrem selten (Forschungs-Reinräume) |
Der Sprung von H13 auf H14 ist Faktor 10 in der Durchlässigkeit. Von H14 auf U15 weiterer Faktor 10. Bei U16 wird im Mittel etwa 1 von 2 Millionen Partikeln noch durchgelassen.
Wann welche Klasse für Ihre Linie
H13 - die Untergrenze
- ISO 7 und ISO 8 in Pharma-Versorgungsbereichen
- Allgemeine industrielle Reinräume (Elektronik-Montage)
- Lebensmittel-Reinraum-Bereiche
Nicht mehr ausreichend für: Grade A GMP (Annex 1 schreibt H14 vor, seit August 2023). H13 in Grade A ist ein Audit-Risiko.
H14 - die Industrie-Pflichtklasse
- GMP Grade A unidirektionale Bereiche (Annex-1-Pflicht)
- Halbleiter-Wafer-Handling außerhalb der Lithografie
- Krankenhaus-Operationssäle
- Compound-Semi-Reinräume
Druckverlust neu: 220-280 Pa. End-of-Life nach 3-5 Jahren.
U15 - ULPA für Halbleiter-Front-End
- ISO 3 bis ISO 4 Cleanrooms
- Wet-Bench-Bereiche in Halbleiter-Fabs
- Optische Lithografie außer Belichtungs-Step
- Forschungs-Reinräume
Druckverlust neu: 250-330 Pa. Service-Intervall typisch 3-5 Jahre.
U16 - höchste industrielle Klasse
- Photolithografie-Belichtungs-Step
- Mini-Environments in 300mm-Fabs
- EUV-Lithografie-Vorräume
Druckverlust neu 300-400 Pa laut typischen Hersteller-Datenblättern. Kosten-Sprung gegen U15 deutlich - exakte Stückpreise hängen stark von Hersteller, Stückzahl und Rahmenmaterial ab.
Die vier Auswahlfehler, die regelmäßig teuer werden
1. “H13 reicht doch” - obwohl Grade A vorliegt
Annex 1 erlaubt seit August 2023 keine H13 mehr in Grade A. Bestandsanlagen mit H13 in aseptischen Linien sind im Retrofit-Backlog. Wenn Sie unsicher sind, ob Ihre Linie betroffen ist: das ist die wichtigste Frage in den nächsten 12 Monaten.
2. “U16 ist sicherer” - in ISO 7
Eine Klasse höher kostet 3-5x pro Filter und produziert höheren Druckverlust, der die AHU-Kapazität fressen kann. Über-Filtration in ISO 7-8 ist verschwendetes Kapital.
3. Mischbestückung H14 und U15 in derselben Decke
Mechanisch möglich, aber die Reinraum-Klassifizierung wird vom schwächsten Filter dominiert. 95 % U15 und 5 % H14 - die Klasse ist H14, nicht der Mischwert.
4. Filter-Upgrade ohne Anpassung der anderen Faktoren
Filter-Klassen-Erhöhung allein heißt nicht automatisch, dass die Reinraumklasse steigt. Die Klassifizierung hängt von Filter PLUS Luftwechsel PLUS Druckkaskade PLUS Quellen-Kontrolle ab.
Was wir Ihnen aus der Praxis garantieren
In der Reinraum-Montage gilt: Filter ist nicht installiert, bevor er per Aerosol-Challenge integritätsgeprüft ist. Eingebaute Filter ohne Challenge-Prüfung sind keine Lieferung - sie sind ein Compliance-Risiko, für das Sie unterschreiben.
Renka hat den DOP- oder PAO-Aerosol-Challenge-Prüfprozess seit 1995 im Standard-Übergabe-Protokoll. Particle-Count-Bericht pro Zone nach ISO 14644-3 ebenfalls.
Wenn Sie für Ihre Linie eine Empfehlung suchen
Was wir Ihnen zur Prequalifikation senden:
- Filter-Auswahlmatrix nach Anwendungstyp (Halbleiter / Pharma / Industrie)
- Hersteller-Erfahrung (welche Hersteller wir in welchen Anwendungen gesehen haben)
- Aerosol-Challenge-Protokolle aus realen Übergaben
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Oder direkt zu Ihrer konkreten Filter-Auswahl sprechen: